CKD小型流量感测器资料FSM2-PVR050-S063BK

CKD小型流量感测器资料FSM2-PVR050-S063BK
种类：流量传感器
模拟电压输出：DC1-5V
配管连接方向：左右
模拟输出规格:电压
电源电压的种类:DC
输出点数：3
电源电压V：12...24V

CKD小型流量感测器资料FSM2-PVR050-S063BK

吸收FSM系列的势并实现了更大的进步。
继承了异的应答性，量程zui大扩大到了1000L/min。
采用双画面和双色显示，并搭载自动参考功能，操作便利性大幅度提高。
此外，实现了双向测量，注入了新。

①与压力感测器不相上下的高速应答（应答由管线的内容积、压力等决定）
②由于是通过流量探测的，因此不存在因压力的变化而引起的调节、误检情形。
③可以探测出喷嘴或过滤器的孔口堵塞。
④通过流量探测，可以有效管理倾斜吸附等吸附错误。
利用压力感测器时有时差压过小而无法判别，此
时根据流量可以准确地进行判别。
激光激发器、半导体制造装置的N2气体管理
处置的流量量程大。
内嵌速控器型（特别订购品）可以
轻松对流量进行控制。
各种泄露检查
离子化器的流量管理
焊接氩、碳酸气的流量管理
涂装气体的流量管理
吹扫气体的流量管理
吸附确认
与压力感测器相比较（喷嘴直径为Ф0.3、真空压力为-70kPa时）